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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1174252(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970232554 申请日期 1997.08.28
申请人 SONY CORP 发明人 TERAMOTO SHIGEKI
分类号 H01L21/8247;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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