| 发明名称 |
LASER ANNEALING TREATMENT METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1174217(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19970231610 |
申请日期 |
1997.08.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKAYAMA TAKASHI;KONDO MASAKI |
| 分类号 |
H01L21/20;G05B11/36;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
