发明名称 DEVICE AND METHOD OF BONDING
摘要
申请公布号 JPH1174315(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19980168789 申请日期 1998.06.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMIOKA TAIZO;IGUCHI TOMOHIRO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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