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发明名称 Resist material, method for the production of the same and process of forming resist patterns using the same
摘要
申请公布号 EP0466025(B1) 申请公布日期 1999.03.10
申请号 EP19910111109 申请日期 1991.07.04
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 TANAKA, AKINOBU;BAN, HIROSHI;NAKAMURA, JIRO;KIMURA, TAKAO;KAWAI, YOSHIO
分类号 G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
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