| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR THIN FILM AND THEIR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1167616(A) |
申请公布日期 |
1999.03.09 |
| 申请号 |
JP19970216817 |
申请日期 |
1997.08.11 |
| 申请人 |
SONY CORP;CHEM ART TECHNOL:KK |
发明人 |
INAKANAKA HIROSHI;WATABE HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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