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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
JPH1168048(A)
申请公布日期
1999.03.09
申请号
JP19970222456
申请日期
1997.08.19
申请人
NEC CORP
发明人
FURUYA AKIRA
分类号
H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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