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发明名称 HEATER SUPPORT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1167424(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970238849 申请日期 1997.08.20
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANAMORI YOSHIKATSU;TAKAKUWA YASUNORI
分类号 H05B3/00;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H05B3/00 主分类号 H05B3/00
代理机构 代理人
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