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发明名称
SEMICONDUCTOR TEST DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1164459(A)
申请公布日期
1999.03.05
申请号
JP19970226128
申请日期
1997.08.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKASE YASUHIDE;OMURA TAKASHI
分类号
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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