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发明名称 WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1154475(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970237615 申请日期 1997.07.30
申请人 KEMITORONIKUSU:KK 发明人 HONMA KOJI
分类号 C23F1/08;C23F1/46;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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