发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1154708(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970211961 申请日期 1997.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUCHIDA KAZUTO;KASHIMOTO KOJI
分类号 H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/866;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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