| 发明名称 |
DEFECT INSPECTING INSTRUMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1151616(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970205766 |
申请日期 |
1997.07.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IMATAKE MITSUKO;MATSUMOTO SHUNICHI;KENBO YUKIO;SHISHIDO HIROAKI |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/28;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
