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发明名称 THIN FILM FORMING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1154493(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970210299 申请日期 1997.08.05
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KAZASHI MASATO;YUYA KOJI
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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