发明名称 Vernichtung von Verunreinigungen mittels eines niederenergetischen Elektronenstrahls
摘要
申请公布号 DE69507169(D1) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE19956007169 申请日期 1995.02.09
申请人 HUGHES ELECTRONICS CORP., EL SEGUNDO, CALIF., US 发明人 CIRLIN, EUN-HEE, MALIBU, CALIFORNIA 90265, US;WILLIAMSON, WELDON S., MALIBU, CALIFORNIA 90265, US;DOLEZAL, FRANKLIN A., RESEDA, CALIFORNIA 91335, US;MILLER, LEROY J., WEST HILLS, CALIFORNIA 91304, US;VAJO, JOHN J., CALABASAS, CALIFORNIA 91302, US;WILLIAMS, JOHN D., AGOURA HILLS, CALIFORNIA 91301, US
分类号 B01D53/34;A62D3/00;B01D53/00;B01D53/32;B01D53/50;B01D53/56;B01D53/72;B01D53/74;B01J19/08;C02F1/30;C02F1/58;(IPC1-7):A62D3/00 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
主权项
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