发明名称 Novolakharze und daraus hergestellte Positiv-Fotoresists
摘要
申请公布号 DE69130745(D1) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE19916030745 申请日期 1991.02.01
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., TORTOLA, VG 发明人 LAZARUS, RICHARD M., MISSION VIEJO, CALIFORNIA 92692, US;KAUTZ, RANDALL, IRVINE, CALIFORNIA 92714, US;DIXIT, SUNIT S., MISSION VIEJO, CALIFORNIA 92691, US
分类号 C08G8/04;C08G8/28;G03C1/00;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 C08G8/04
代理机构 代理人
主权项
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