发明名称 Mikrowellen-Ionenquelle zur Ionenimplantation
摘要
申请公布号 DE69507232(D1) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE19956007232 申请日期 1995.09.22
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 SFERLAZZO, PIERO, LYNNFIELD, MASSACHUSETTS 01940, US;ROSE, PETER, NORTH CONWAY, NORTH HAMPSHIRE 03860, US;TRUEIRA, FRANK RAYMOND, YORK, MAINE 03909, US
分类号 C23C14/48;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
地址