| 发明名称 |
Method of fabricating a conductive plug |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2322963(B) |
申请公布日期 |
1999.02.24 |
| 申请号 |
GB19970004377 |
申请日期 |
1997.03.03 |
| 申请人 |
* UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
CLIENT * WU;HORNG-BOR * BU;JENN-TARNG * LIN |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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