发明名称 LENZ HOLDER FOR USE IN A HIGH VACUUM VAPOR DEPOSITION OR SPUTTERING
摘要
申请公布号 KR0180220(B1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19900006850 申请日期 1990.05.14
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 KUNKEL, GEORG;KLINGENSTEIN, DIETER;MAHR, HEINZ;FLIEDNER, MICHAEL
分类号 G02B7/02;B23Q1/54;C23C14/50;G02B1/10;G02C13/00;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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