发明名称 METAL WIRING FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0169761(B1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19940034734 申请日期 1994.12.16
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHO, KYUNG-SOO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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