发明名称 Strahlungsempfindliche Zusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69506999(D1) 申请公布日期 1999.02.11
申请号 DE1995606999 申请日期 1995.11.02
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN, TORTOLA, VG 发明人 PADMANABAN, MUNIRATHNA, C/O HOECHST INDUSTRY LTD., KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;SUEHIRO, NATSUMI, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITED, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;KINOSHITA, YOSHIAKI, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITED, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;FUNATO, SATORU, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITE, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;MASUDA, SEIYA, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITED, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;OKAZAKI, HIROSHI, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITED, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP;PAWLOWSKI, GEORG, C/O HOECHST INDUSTRY LIMITED, KAWAGOE-SHI, SAITAMA, JP
分类号 G03F7/00;G03F7/004;G03F7/033;G03F7/039;G03F7/085;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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