用于扩散法制图的方法及组合物

摘要

本发明涉及用作制图案有机层的方法，它包括下列步骤$Ａ．向基底上施加一层固体酸不稳定聚合物的非制图层；$Ｂ．向非制图层基上施加一层包括有机酸的液体溶液及挥发溶剂的制图案第二层；$Ｃ．加热制图层从而从层中除去挥发溶剂并让有机酸扩散至下面第一层中；$Ｄ．用碱水溶液洗涤各层以便从各层的制图区域中除去溶解了的酸不稳定聚合物。

主权项

1.一种在有机聚合物各层制图案的方法，其特征在于它包括下列系列步骤：A.向基底上施加一包括固体酸不稳定聚合物的非制图案的第一层：B.向非制图案的第一层上施加包括有机酸液体溶液及挥发性溶剂 的制图第二层；C.加热制图案的第二层以便从该层中除去挥发溶剂，并让有机酸扩 散入下面的第一层，从而使下面的第一层中的酸不稳定聚合物通 过与有机酸反应而变成溶解；以及D.用pH至少为7的碱水溶液洗涤各层以便从各层的制图案区域中 除去溶解的酸不稳定聚合物及增塑剂。