发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Sputtern supraleitender Dünnschichten aus Niob auf kupferne Viertelwellen-Resonanzhohlräume zur Beschleunigung schwerer Ionen
摘要
申请公布号 DE69226407(T2) 申请公布日期 1999.02.04
申请号 DE1992626407T 申请日期 1992.08.12
申请人 ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE, FRASCATI, IT 发明人 PALMIERI, VINCENZO, I-35020 LEGNARO (PADOVA), IT;PRECISO, RENATO, I-35016 PIAZZOLA SUL BRENTA (PADOVA), IT;RUZINOV, VLADIMIR L., MOSCOW, SU
分类号 C23C14/16;C23C14/34;C23C14/38;H01L39/24;H05H7/20;(IPC1-7):C23C14/02;H01J37/34;H01L39/00 主分类号 C23C14/16
代理机构 代理人
主权项
地址