| 摘要 |
<p>L'invention concerne un appareil (10) d'usinage pour pièce à usiner de micro-électronique. Cet appareil (10) comprend une cuve (12) définissant une chambre d'usinage. La cuve (12) est cadrée à demeure avec un châssis (50). Une structure (15) porte-pièce est montée rotative à l'intérieur de la chambre d'usinage. Un ensemble moteur (21) est disposé à l'extérieur de la chambre d'usinage et fait tourner la structure (15) porte-pièce. Le dispositif d'entraînement (21) est constitué d'un moteur électrique et d'au moins un élément amortisseur (155) placé entre le moteur et le châssis (50). L'ensemble moteur comprend un arbre tournant autour d'un axe de rotation (29). L'élément amortisseur (155) se déforme élastiquement dans sensiblement toutes les directions perpendiculaires à l'axe de rotation (29) en réaction aux forces de vibration dont les composantes sont perpendiculaires à l'axe de rotation (29), et, dans un degré moindre, dans des directions parallèles à l'axe de rotation (29) en réaction aux forces de vibration dont les composantes sont parallèles à l'axe de rotation (29).</p> |
