| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1117000(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
JP19970171773 |
申请日期 |
1997.06.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MAEDA SHIGENOBU;IWAMATSU TOSHIAKI;MAEKAWA SHIGETO;IPPOSHI TAKASHI;YAMAGUCHI YASUO;HIRANO YUICHI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/765;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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