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经营范围
发明名称
CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPH1114634(A)
申请公布日期
1999.01.22
申请号
JP19970166852
申请日期
1997.06.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
HEIKE SEIJI;HASHIZUME TOMIHIRO;WADA YASUO;MITSUYA MUNEHISA;ISHIBASHI MASAYOSHI
分类号
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q80/00;G01Q90/00;H01L41/09;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01B21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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