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发明名称 FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH1116905(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970172147 申请日期 1997.06.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATSUMATA RYUTA;MIYAJIMA HIDESHI
分类号 C23C16/50;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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