| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING PARTICLE AND CONTROL METHOD FOR PARTICLE DETECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1116833(A) |
申请公布日期 |
1999.01.22 |
| 申请号 |
JP19980152498 |
申请日期 |
1998.06.02 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRON CO LTD |
发明人 |
PARK SOON-JONG;YUN JONG-SUN |
| 分类号 |
H01L21/66;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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