发明名称 SEMICONDUCTOR CHARACTERISTIC SIMULATION DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH1116795(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970169104 申请日期 1997.06.25
申请人 SONY CORP 发明人 TATSUMI TAKAAKI
分类号 H01L29/00;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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