| 主权项 |
1.一种使用高密度液化气体之方法,系对收容在耐压洗净器内之半导体等之被洗净物自器外注入接触洗净溶媒之位于临界点附近之高密度液化气体,使附着于被洗净物之污染成分溶解于高密度液化气体,接着,将溶有该污染成分之高密度液化气体移送到回收容器、分离槽后,予以减压使密度减少而析出、分离出污染成分,并使经除去污染成分之洗净溶媒再回到高密度液化气体中储存,以供再利用而构成之闭路再循环系统中;溶媒则采用存在于临界点附近之亚临界、超临界两区域之高密度液化气体,并利用该高密度液化气体所具有加温气化、冷却液化所需能量系愈接近临界点附近愈小之特性,使溶媒之输送不再使用高压产生装置,而全部藉由气化、液化状态下依蒸气压差之压送,与根据蒸气压差之高度差所设定之重力落下输送方式来达成,且在耐压洗净器,高密度液化气体系对被洗净物喷射,经预洗净污染成分后立即移送于器外以阻止污染成分之再附着,更藉由依超声波能量之强制搅拌与作用于全体溶媒之依膨胀之空穴现象、胶束形成法,即可对各种洗净物达成完美之洗净者。2.一种使用高密度液化气体之洗净装置,系具备将用以收纳被洗净物之洗净筐支撑于耐压洗净器内之空中,而对该被洗净物直接喷雾压缩液体之复数支喷嘴和连接于耐压洗净器上部之低压室,且设有由设在耐压洗净器底部之旋转翼和设在耐压洗净侧壁而指向于该旋转翼之声波产生装置所构成之搅拌而成之耐压洗净器;具备设置在高于该耐压洗净器位置上之温度调节装置,且为接受该耐压回收容器之上部气体而作为连接与耐压回收容器间上部间之储存装置之高密度液化气体供应圆筒;以及连接于该高密度液化气体供应圆筒与耐压洗净器间之配管途中系藉去污夹带剂容器来构成闭路再循环系统;而将各压缩液体接送容器间之上部间连接成彼此间之上部气体能连通而构成者。3.如申请专利范围第2项所述之使用高密度液化气体之洗净装置,其中对耐压洗净器系将由耐压回收容器、高密度液化供应圆筒所形成之再循环系切换自如地设置复数套者。4.如申请专利范围第2或3项所述之使用高密度液化气体之洗净装置,其中将溶媒原料钢瓶设置于高于耐压洗净器之位置,并具备温度调节装置,且将与耐压洗净器之上部间连接成能使彼此之上部气体连通者。5.一种具有再附着阻止机能之洗净装置,其特征在于:在具备将用以收纳被洗净物之洗净筐支撑于耐压洗净器内之空中,而对该被洗净物直接喷雾压缩液体之复数支喷嘴,和连接于耐压洗净器上部之低压室,并在设有由设在耐压洗净器低部之旋转翼和设在耐压洗净器侧壁而指向于该旋转翼之声波产生装置所构成的搅拌装置之耐压洗净器之下位,将具备有温度调节装置,同时以垂下状设有可装卸自如之排泄钢瓶而用以接受洗净处理后之洗净液体而作为耐压洗净器之分室之耐压回收容器(14),附属于该耐压洗净器者。6.一种使用高密度液化气体之洗净分离回收装置,其特征在于:具备温度调节装置,且以垂下状设有可装卸自如之排泄钢瓶之耐压回收容器,以及具备设置于高于耐压洗净器位置之温度调节装置,且为接受耐压回收容器之上部气体而连接与耐压回收容器上部间之高密度液化气体供应圆筒所构成而不再需要为分离污染成分、回收溶媒所用之高压产生装置者。7.如申请专利范围第2项之使用高密度液化气体之洗净装置,其使用方法若具有仅以高密度液化气体单体仍困难溶而不能洗净污染成分之场合,因应污染成分将亲油、亲水或两介质性界面活性剂经由污夹带器容器添加于媒溶中,使其利用所谓胶束化现象之提高洗净力和再附着防止机能,与喷嘴之冲击能量之强制剥离、利用发泡作用空穴现象、利用超声波之搅拌一起为合一目的而复合化者。8.一种使用高密度液化气体之洗净方法,其中溶媒循环方法,系于对收容在耐压洗净器内之半导体等之被洗净物,以超临界供应装置自器外注入超临界流体并使之相接触,使附着于被洗净物之水分、有机物等污染物溶解转移位于超临界流体,接着,将溶有该污染物之超临界流体移送到分离槽后,予以减压使密度减少而析出所溶解之污染物,并将经除去污染物之纯粹超临界流体回复到原先密度而予以储存,以供再利用而构成之闭路再循环系统中;溶媒则采用双重存在于临界点附近之亚临界、超临界两区域之高密度液化气体,并利用该高密度液化气体所具有加温气化、冷却液化所需能量系愈接近临界点附近愈小之特性,使溶媒之输送不再使用高压产生装置而全部藉由于此气化、液化状态下依蒸气压差之压送与根据蒸气压差之高度差所设定之重力落下输送方式来达成,在耐压洗净器,高密度液化气体系对被洗净物喷射而将块状污染物加以预洗净,并立即移送于器外以阻止污染成分之再附着,更藉由强制搅拌与作用于确保溶媒循环,且永续化之溶液全体利用膨胀之空穴现象,而达成完善之洗净为特征者。9.一种使用高密度液化气体之超临界流体洗净装置,其特征包括:具有将用以收纳被洗净物之洗净筐支撑于耐压洗净器内之空中,而对该被洗净物直接喷雾压缩液体之复数支喷嘴,且设有由位于耐压洗净器底部之旋转翼与位于耐压洗净器侧壁而指向于该旋转翼之声波产生装置所形成之搅拌装置之耐压洗净器;及具备设置在低于该耐压洗净器位置之温度调节装置,同时,以垂下状设有可装卸自如之排泄钢瓶,作为耐压洗净器之分室以接受洗净处理后之洗净液体所用之耐压回收容器;以及具备设置在高于该耐压洗净器位置之温度调节装置,并与耐压洗净器做气相间连接,且可将液相再循环供应给耐压洗净器之膨胀用低压室者。10.如申请专利范围第9项所述之起临界流体洗净装置,其特征在于:具备设置在高于该耐压洗净器位置之温度调节装置,且为接受该耐压回收容器之上部气体而作为连接与耐压回收容器上部间之储存装置之高密度液化气体供应圆筒;以及连接于该高密度液化气体供应圆筒与耐压洗净器间之液送管途中,系藉去污夹带剂容器来构成闭路再循环系统;并将耐压洗净器与耐压回收容器之间、高密度液化气体圆筒与耐压洗净器间之上部间连接成能使彼此之上部气体连通,将溶媒原料钢瓶设置在高于耐压洗净器之位置,并具备温度调节装置,且与耐压洗净器之上部间连接成彼此之上部气体能连通者。11.如申请专利范围第9项所述之超临界流体洗净装置,其特征在于:具备设置在高于该耐压洗净器位置之温度调节装置,且为接受该耐压回收容器之上部气体而作为连接与耐压回收容器上部间之储存装置之高密度液化气体供应圆筒;及连接于该高密度液化气体供应圆筒与耐压洗净器间之液送管途中,系藉去污夹带剂容器来构成闭路再循环系统;而自溶媒原料钢瓶向耐压洗净器之溶媒输送,系藉加压泵来实施者。12.如申请专利范围第9项所述之洗净装置,其使用方法之特征在于:具有仅以高密度液化气体单体仍因难溶而不能洗净之污染成分时,因应污染成分而将亲油、亲水或两介质性界面活性剂,系经由去污夹带剂容器添加于溶媒中,而有效利用藉由其所谓胶束化(micelle formation)现象之提高洗净力与再附着防止机能者。图式简单说明:第一图:为本发明洗净装置之基本构成示意图。第二图:为本发明洗净装置之再循环系统复数化之实施例图。第三图:A.为本发明之耐压洗净器之粗洗净示意图。B.为本发明之正式洗净示意图。C.为本发明之搅拌装置示意图。第四图:为本发明洗净装置之附加机能型(一)示意图。第五图:为本发明洗净装置之附加机能型(二)示意图。第六图:A.为本发明之洗净机构之预洗净示意图。B.为本发明之洗净机构之正式洗净示意图。C.为本发明之搅拌装置示意图。第七图:为纯物质之状态图与超临界流体、亚临界流体领域之图表。 |
