带有闩锁门的运输组件

摘要

一种晶片容器,它具有由门框架限定的前部开口和门。该门框架在相对侧上具有槽且利用闩锁连杆和提升连杆将闩锁部分从门伸出、提升、下降和缩回到门框架的锁座中。门具有被动晶片软垫或主动晶片接合臂,当门就位时,该晶片接合壁向内伸向晶片以固定晶片。闩锁连杆、提升连杆及保持臂连接到门内部的转动凸轮件。凸轮件的凸轮表面构形成沿第一方向使闩锁部分伸入锁座且沿垂直于第一方向的第二方向移动闩锁部分以向内推门并将门密封于容器部分。

主权项

1．一种晶片运输组件，它包括：a)以水平设置盛装晶片的容器部分(222)，该容器部分具有门框 架和前部开口(240)，该门框架(260)具有锁座(272)； 以及b)安装在门框架上的门(224)，该门包括： i)具有闩锁部分(306)的闩锁连杆机构(311)，该闩锁部分 (306)沿第一方向向外伸向锁座(272)；以及 ii)邻近于闩锁连杆机构(311)且沿基本上平行于第一方向 的方向移动的提升连杆机构(319)，至少提升连杆机构和 提升部分中的一个具有斜面(394)，从而当提升连杆机构 相对于提升部分移动时，斜面使得提升连杆机构(319)沿 基本上垂直于第一方向的第二方向移动。