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申请公布号 JP2848971(B2) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 JP19910010224 申请日期 1991.01.30
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK;MITSUBISHI MATERIARU SHIRIKON KK 发明人 MINAMI SHUBIN
分类号 H01L21/301;C09J5/06;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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