接触照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板

摘要

以接触式照像复制法生产荫罩版用的玻璃基板,本发明以应力双折射方法测得的应力值表示基板强度,适用于生产的玻璃基板的应力值范围为100—200nm,并且是至少三点的极大应力值;使用本发明确定的玻璃基板具有无在线炸裂现象、研磨性能好、再生使用次数增加的优点,为玻璃基板的在线使用提供了无损的定量检测依据,能使荫罩版的生产成本降低。

主权项

1．一种接触照象复制法生产荫罩版用的玻璃基板，使用时有包括强度等性能的检测，并采用有应力双折射的检测方法，其特征在于，所述的玻璃基板用应力双折射检测方法，以所测得的应力值表示基板的强度，其适用玻璃基板的应力值范围为100-200nm，并且其检测应至少取三点的极大应力值。