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发明名称
摘要
申请公布号 JP2844940(B2) 申请公布日期 1999.01.13
申请号 JP19910037480 申请日期 1991.03.04
申请人 FUJI ZEROTSUKUSU KK 发明人 MYAJIMA YASUSHI;NISHIKAWA EIJI;TAKAYAMA YASUO;ENDO NOBORU;TAMAYA MITSUYUKI;MYAUCHI SEIJI
分类号 G03F9/00;H01L23/12;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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