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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH116856(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970160213 申请日期 1997.06.17
申请人 JSR CORP 发明人 YAMADA ONORI;MAYUMI KAZUAKI;TAKANAMI MASAMITSU
分类号 G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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