| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR PRODUCTION OF THIN OPTICAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH116064(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970160934 |
申请日期 |
1997.06.18 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
WATANABE TADASHI;MITAMURA NOBUAKI;KAWAMATA TAKESHI;IKEDA HIROSHI;TAKAO KIYOSHI;TOYOHARA NOBUYOSHI;OIMIZU TOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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