发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIROSOCHI OYOBI SONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5197389(A) 申请公布日期 1976.08.26
申请号 JP19750023185 申请日期 1975.02.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L27/04 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址
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