| 发明名称 |
PARALLELISM MEASURING DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH112517(A) |
申请公布日期 |
1999.01.06 |
| 申请号 |
JP19970154637 |
申请日期 |
1997.06.12 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KANDA TERUKAZU;KUBOTA MASAYUKI;HASHIGUCHI KOJI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01B5/24;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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