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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SHEET MEMBER, INSPECTING METHOD OF THE SHEET MEMBER, AND DEFECT INSPECTING DEVICE OF THE SHEET MEMBER
摘要
申请公布号 JPH112611(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19970153299 申请日期 1997.06.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOMOTO MINEO;DOI HIDEAKI
分类号 G01B11/30;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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