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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH112806(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19980057754 申请日期 1998.03.10
申请人 LG ELECTRON INC 发明人 SHIN WOO-SUP;JEONG GYU-JAE
分类号 G02F1/1333;C03C15/00;C23F1/08;H01L21/302;(IPC1-7):G02F1/133 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
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