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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH113859(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19970154126 申请日期 1997.06.11
申请人 F T L:KK 发明人 TAKAGI MIKIO
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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