气相合成金刚石的方法

摘要

本发明是一种在直流等离子体喷射ＣＶＤ设备中利用专利号为９３１０９９６６．８的大喷口直径等离子炬以廉价的液化石油气作为碳原气相合成金刚石的方法。使用本发明在氩、氢等离子弧中直接吹入液化石油气，可以以每小时３０—５０微米的速度，生长出质量纯净的金刚石膜。

主权项

1.一种气相合成金刚石的方法，其特征在于以液化石油气为碳源，以氩气和氢气为工作气体，使用CN93109966.8专利的大喷口直径等离子炬，将所述液化石油气从所述的等离子炬的阳极喷嘴下方0～30毫米范围内吹入。