| 发明名称 |
Semiconductor device manufacturing apparatus and manufacturing method |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2303564(B) |
申请公布日期 |
1998.12.30 |
| 申请号 |
GB19950022520 |
申请日期 |
1995.11.03 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
JANG-HOON * KIM;DONG-HEUI * JANG;SANG-KAP * KIM;JEONG-YEAL * KIM |
| 分类号 |
H01L21/027;B01D19/00;G03F7/30;H01L21/02;(IPC1-7):B01D19/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
