发明名称 PHOTOLITHOGRAPHISCHE STRUKTURERZEUGUNG
摘要
申请公布号 DE59504291(D1) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19955004291 申请日期 1995.09.01
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 SEZI, RECAI, D-91341 ROETTENBACH, DE;LEUSCHNER, RAINER, D-91056 ERLANGEN, DE;SCHMIDT, ERWIN, D-91058 ERLANGEN, DE
分类号 G03F7/022;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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