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发明名称 GLEICHZEITIGES BESTIMMEN VON SCHICHTDICKE UND SUBSTRATTEMPERATUR WÄHREND DES BESCHICHTENS
摘要
申请公布号 DE59407307(D1) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19945007307 申请日期 1994.02.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 BOEBEL, FRIEDRICH, D-91080 UTTENREUTH, DE;BAUER, NORBERT, D-91058 ERLANGEN, DE
分类号 G01B11/06;G01J5/00;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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