| 发明名称 |
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10332718(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19970144912 |
申请日期 |
1997.06.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FURUKAWA TAKASHI;ICHIMURA MASAHIKO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/00;G01Q60/50;G01R33/12;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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