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发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH10335234(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970155840 申请日期 1997.05.29
申请人 NIKON CORP 发明人 OTA KAZUYA
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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