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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH10335264(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970154592 申请日期 1997.05.28
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUNO YASUYUKI
分类号 C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
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