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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10335642(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970147425 申请日期 1997.06.05
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 MARUYAMA YASUO;NAKURA KENICHI;SATO TAKAHIRO;NAGANO HIROMI
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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