| 发明名称 |
DICING DEVICE FOR CERAMIC SUBSTRATE FOR ELECTRONIC COMPONENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10335273(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19980019479 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
TAIYO YUDEN CO LTD |
发明人 |
FUKAI KIKUJI;INAI MASAYUKI |
| 分类号 |
B28D5/02;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 |
主分类号 |
B28D5/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
