发明名称 Verfahren zum Bilden eines Kondensators einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE19825736(A1) 申请公布日期 1998.12.17
申请号 DE19981025736 申请日期 1998.06.09
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., ICHON, KYOUNGKI-DO, KR 发明人 LIM, CHAN, ICHON, KYOUNGKI, KR
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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