在真空处理装置中静电夹持绝缘工作的方法和装置

摘要

绝缘工件通过等离子体作用于工件的暴露于等离子体的表面上并同时给夹具上的电极加上相对高的电压而被夹持在真空等离子体处理室中的夹具上。电极与工件未暴露于等离子体的部分紧密相邻,从而(A)电极处在基本上不同于等离子体的电压上,(B)通过等离子体使静电电荷作用于暴露表面上,和(C)经过等离子体从静电电荷到处于基本上不同于施加给电极的电压的电势的端子形成导电路径,以施加给单电极的DC电压和通过等离子体作用于暴露表面的电荷之间的电压差产生穿过工件厚度的足够的静电夹持力,从而将基片固定于夹具上。

主权项

1.一种在真空等离子体处理室中将介质工件夹持在夹具上的方法，包括：对工件暴露于等离子体的表面施加等离子体，同时对夹具的电极加相对高电压，该电极是物理安装的，以使其处在基本上不同于等离子体的电压的高电压，该电极紧靠近工件未暴露等离子体的部分，因而(1)该电极处在基本上不同于等离子体的电压，(2)通过等离子体使静电电荷作用于暴露的工件表面上，和(3)经过等离子体从工件表面到处于基本上不同于施加给电极的电压的电势的端子提供导电路径，所形成的静电电荷和导电路径能够在工件和夹具之间产生静电力。